澳门赌场网址大全_澳门网上十大正规赌场【信誉娱乐平台】

微传感器及其工艺

发布者:澳门赌场网址大全 作者:发布时间:2010-05-07浏览次数:940

方向介绍

"微传感器及其工艺"是学院依据" 巩固传统优势,利用学科交叉,边缘突破瓶颈,重点发展增长点""十一五"中长期的学科发展理念,确定了新的研究方向,从传感器应用和检测向传感器制造技术纵深发展,并跟踪国际前沿发展动态,利用交叉学科优势,在边缘学科上创造性地开展MEMS微系统制造及其应用的理论研究与工程实践,为环境检测、危化品监测、石油化工、矿业安全、制造业过程控制等领域实现智能检测及物联网、传感网技术提供社会服务。

方向的研究特色为采用先进的MEMS精密制造技术,结合敏感材料、陶瓷、薄膜、电化学、半导体等工艺手段研究微传感器、微结构体和微执行器,涉及MEMS器件设计、工艺过程控制方法、尺寸效应、器件集成和有限元分析等基础理论和工程实践。重点研究MEMS传感器的制造技术、动静态特性、测试方法和应用技术,通过数模电路、单片机及软件研究信号采集与处理方法以及微系统集成技术。

近几年,已完成了"声表面波毒剂传感器研究""酶法毒剂传感器研究""动态气体传感器材料检测系统装置""环境自适应热膜风速传感器研究""酞菁基有机半导体气体传感器研制与系列开发""微机械加工超薄型Pt膜温度传感器技术研究""基于微纳米加工技术的新型传感器微结构研究""新型陶瓷膜电化学腐蚀生长微加工技术基础研究"**型号、**基础、国家基金、973、省市攻关等十几项课题;发表论文30多篇,三大检索论文10多篇;申请发明专利11项,已授权5项;获省级和省高校科技自然奖各1项。

目前开展面向安全监测与跟踪的网络化微系统重点专项中的分课题"MEMS氯气传感器研发及其产业化研究" "氧化铝介孔内生长酞菁钯-聚苯胺杂化的有机半导体气体传感器及气敏机理研究"、 具有自检功能的微型压电泵中的子分课题"MEMS无铅压电阵子研发""基于气象环境参数的片上MEMS微系统研究""变电站过热防灾预警系统""无线采集环境温湿度参数监测系统""智能家居煤气安全监控物联网技术研究""水处理厂氯气消毒安全监控局域传感网技术研究"863、国家自然基金、省教育厅、企业委托等在研课题11项。

现有教授1名,博导1名,讲师2名,在读博士4人,在读硕士10多人。研究方向所在实验室占地500m250多台套、价值400多万元仪器设备。兼容化学合成、半导体工艺、MEMS微加工、陶瓷工艺、金属薄膜、电路设计及调试、标定与测试的综合柔性传感器工艺线,基本具备了MEMS传感器工艺实验与研发能力。